بشقاب مکنده سرامیکی Oxalumina یک محصول انقلابی در زمینه سیستم های حمل و نقل دقیق است. این از سرامیک α-آلومینا (α-Al2O3) با خلوص 99.9 ≥٪ ساخته شده است که با ساختار متخلخل مهندسی شده برای دستیابی به توزیع خلاء بهینه ترکیب شده است. در مقایسه با مکنده های فلزی یا پلیمری سنتی، این محلول سرامیکی خطر آلودگی ذرات را به طور کامل از بین می برد، در حالی که می تواند در برابر دماهای شدید (عملکرد مداوم 1750 درجه سانتی گراد) و محیط های خورنده مقاومت کند. ریزساختار منحصر به فرد آن (اندازه منافذ یکنواخت 2-5μm، چگالی 3.89g/cm³) صافی زیر میکرونی (زبری سطح Ra≤0.1μm) را تضمین می کند، و آن را به تنها پلت فرم فنجان مکنده حرفه ای تبدیل می کند که می تواند ویفرهای نیمه هادی 300 میلی متری را با دقت مکش ± 0.1μm اداره کند.
1. پیشرفت در عملکرد مواد
پایداری حرارتی: بدون تغییر شکل در چرخههای شوک حرارتی 800 درجه سانتیگراد و عمر مفید 5 برابر بیشتر از مکندههای آلیاژی (محیط فرآیند با دمای بالا).
مقاومت شیمیایی: کاهش وزن 1 ساله 30٪ غوطه وری اسید سولفوریک کمتر از 0.01 گرم است، مناسب برای عملیات الکترولیت باتری و فرآیند رسوب بخار شیمیایی.
عملکرد عایق: قدرت میدان شکست به 40 کیلو ولت در میلیمتر میرسد و عملکرد ایمن را در محفظه اچ پلاسما تضمین میکند.
2. نوآوری طراحی مهندسی
کنترل تخلخل: تخلخل 40٪ از طریق فرآیند قالب گیری تزریق ژل به دست می آید و ساختار دیواره منافذ 1-3μm از جذب و تغییر شکل قطعات فوق العاده نازک (≤50μm) جلوگیری می کند.
معماری هوشمند: سنسور دمای داخلی از مدیریت حرارتی در زمان واقعی از -196 درجه سانتیگراد تا محیط دمای فوق العاده بالا پشتیبانی می کند.
